晶瑞电材：高端KrF（248）光刻胶已完成中试 进到客户测试阶段

证券时报eCorporation资，晶瑞电材(300655)表示，Corporation全方位KrF（248）光刻胶未完成中的试，建成了中的试示范线，已进入卖家测试阶段。全面性已购得KrF光刻机一台，可用于KrF光刻胶的曝光测试，同时CorporationKrF光刻胶量产化生产线准备致力建设中的。目前ArF（193）全方位光刻胶研发工作已同年启动时，未完成光刻机、匀胶显影机、扫描电镜、台阶仪等的设备购置，其中的ASML1900Gi型光刻机的设备准备致力自动化中的。同时Corporation准备致力开展对上游材料树脂单体及蜂蜜的研究。